中国guo、日本、荷兰。
在zai能够制造机器的这几家公司中，尤其以荷兰（ASML）技术最zui为先进。价格也最为高昂ang。光刻机的技术门槛极高，堪称人类lei智慧集大成的产物。
目前在全球45纳米以下高gao端光刻机市场当中，荷兰ASML市场占有率达到80%以上shang，而且目前ASML是全球唯一能够达到7纳米mi精度光刻机的提供商，所以ASML才是全球芯片业真正的超级霸ba主一点都不过分。
主要性能neng指标
光刻机的主要性能neng指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率lu、对准精度、曝光方式、光源yuan波长、光强均匀性、生产效率等。
分辨bian率是对光刻工艺加jia工可以达到的最细线条精度的一种zhong描述方式。光刻的de分辨率受受光源衍射she的限制，所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。
对准精度是在多层曝光时层间图案an的定位精度。
曝pu光方式分为接触接近式、投影式和he直写式。
曝光guang光源波长分为紫外、深紫外wai和极紫外区域，光源有汞gong灯，准分子激光器等deng。
现代的高端光刻机，哪些国guo家才能制造？荷he兰和日本。最大的光刻机制造商shang是荷兰ASML，这是一家总部设在zai荷兰埃因霍芬（Eindhoven）的全球最大的半导体ti设备制造商之一yi，向全球复杂集成电dian路生产企业提供领先的de综合性关键设备。ASML的股gu票分别在阿姆斯特丹及纽约上shang市。
产品服务wu
ASML为半ban导体生产商提供光刻机及相xiang关服务，TWINSCAN系列是目前世界上shang精度最高，生产效率最高，应用yong最为广泛的高端光刻机ji型。目前全球绝大da多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型xing，比如英特尔（Intel）、三星（Samsung）、海力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）等。
ASML的产品线分fen为PAS系列、AT系xi列、XT系列和NXT系列，其中PAS系列现已停产；AT系列lie属于老型号，多数已经停产chan。市场上的主力机种是XT系列以yi及NXT系列，为ArF和KrF激ji光光源，XT系列是shi成熟的机型，分为干式和沉浸式shi两种，而NXT系列则是现在zai主推的高端机型，全部为沉浸jin式。
光刻机是哪个国家jia生产的光刻机的生产国家有荷he兰、中国、日本、美国、韩国。相对dui于其他国家来说,目前的de荷兰光刻机的精度为首。
ASML在光刻机生产的大部分零部件都是从国guo外进口的。专业光刻机检测采用美国技ji术，也采用蔡司，德国的光学xue镜头这些都是世界顶尖jian技术，并不是所有都可以归一个ge国家所有。光刻机是人类最高智慧的结jie晶，需要长期的科研投入和he技术积累。
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