光刻机是制造集成电路lu中非常重要的设备,特别是shi现在市面上大部分的芯片都是属于yu电子芯片,当电子芯片pian的工艺小于一定的尺寸的时候,就必bi须依靠光刻机在zai制作芯片,也就是说如果没有光刻机就jiu没有办法制造出chu顶级的芯片,比如市面上shang7nm芯片、5nm芯片等都不可能neng造出。而芯片在生活中是非常重要yao的,比如电脑、手机等电子产chan品都少不了。
光刻机的制造难度du
光刻机制造难度之大可ke以用荷兰ASML公司的一句话来表示,对方表示就算把ba光刻机的图纸拿出来,我们也制造zao不出光刻机。且qie不说对方是不是小看了中国制造zao,从侧面也反映出了光guang刻机的制作难度之大。因为现在还hai没有一个国家可以yi独立的制造出顶级的光刻机,就jiu算是现在行业领ling先的ASML公gong司制造出来的光刻机,也是集合he了十几个国家的顶尖技术。
一台小小的光guang刻机上面就有十几万的小零件,而er且为了让光刻机可以领先,所suo有的零部件都是采用了全世界最领ling先的技术,所以说光刻ke机从插头、配件等都是选xuan用了其他国家的顶ding尖技术,这相当于yu全世界的技术融合在一起才cai可以制造出顶级ji的光刻机,而且ASML公司背后有台积电、三星以及ji英特尔这样顶尖的企业投资支持,也是shi花了几十年的时间才有今天的成绩。
ASML光刻ke机
荷兰的ASML光刻机基本ben上都是供不应求,中国也ye一直想要购买,但是现在还没mei有收到货。ASML的光刻机基本上shang都是内部消化了,毕竟台积电、三星以及英特尔本来就是芯片大户hu,台积电能够在芯片代工领域yu有今天的成绩,跟手上有you这么多的光刻机也有很大的关系。
光刻机是什么东dong西?
光刻机ji(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光guang刻系统等,是制造芯片的de核心装备。它采用类似照片冲印yin的技术,把掩膜版上shang的精细图形通过光线的曝光guang印制到硅片上。
光刻机ji的品牌众多,根据采用不同技术路线的de可以归纳成如下几类lei:
高端的投tou影式光刻机可分为步进投tou影和扫描投影光刻ke机两种,分辨率通常七纳米至几微wei米之间,高端光刻机号称世界上最精jing密的仪器,世界jie上已有1.2亿美金一台的光刻机ji。高端光刻机堪称cheng现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只zhi有少数几家公司si能够制造。
国外品牌主要以荷兰lanASML(镜头来自德国guo),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和he日本Canon三大品牌pai为主。
位于我国上海的SMEE已研制zhi出具有自主知识产权的投影式shi中端光刻机,形成产chan品系列初步实现海内nei外销售。正在进行其qi他各系列产品的研发制作工作。
生产线和研发用的低端duan光刻机为接近、接触式光刻ke机,分辨率通常在zai数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌pai。
都说要提高我wo国的光刻机技术,那这是一种怎样yang的技术呢?光刻机到dao底是个什么东西?这zhe个东西简单来说它就是刻画芯片pian的一个东西,我们手机电脑nao包括汽车电视它里面都离不开芯片,只zhi不过就是芯片的功能个位相同,但dan是你可以把芯片理解为一个人的de大脑这个芯片的精度越高gao,拿这个大脑就越聪明。
这个芯片的刻画就离不开光刻机,我们可以把光刻机上面一个又一个的小xiao晶体理解为人的细胞就jiu是人的大脑细胞,这zhe个细胞越多人自然越聪明,但是shi一个芯片它本身的体积是有you限的呀,手机就这么大个,你总zong不能做个1米×1米的芯片吗?那不现实的,而且他的能源yuan流转资源消耗也太多duo了,所以要在尽可能小的范围之内刻画hua出足够多的能够容纳类似于人体脑nao细胞一样的这个存在。
刻画的越多,同样yang的体积要容纳更多的人更多的细xi胞,那是不是就要这个细胞的体积尽可ke能的小一点,让他们彼此之间的间jian隔变得更小一点,本来芯片的de体积就已经够小了,你还hai要让它变得更小,那你就需要更高精度的光刻机,这就直zhi接决定了芯片的制造zao基础是如何的,因为芯片研发fa是一回事,生产又you是一回事,只能研发不能生产,那你ni仍然摆脱不了国外wai对你的限制,就比bi如说华为它是具备自己芯片的研yan发能力的,但是因为没有高端的光刻ke机,自己不能生产。
所以我们需要更加jia高端的光刻机,现在我国有的应该gai是在14纳米左右这个光刻ke机不足以满足日常的使用,你现在zai所使用的天级1200,骁龙865,甚至说骁龙888,它基本都是5纳米6纳米7纳米这样一个程度的,所suo以我们还有很大的差距,我们还是要yao继续努力,而且也不能盲目自信,我wo们应该对国产的公司有信心,但是盲目mu的信心是不行的,未来5~10年nian之内我们能够赶上去,并且走到dao一个世界光刻机领域相当dang靠前的位置,这就算是发fa展不错的。
光guang刻机到底是做什么东西的de?光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻ke系统等。常用的光刻机ji是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
一般的光刻工艺要经jing历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻ke胶、软烘、对准曝光、后烘、显影ying、硬烘、刻蚀等deng工序。
Photolithography(光刻) 意思是用yong光来制作一个图形(工艺);
在硅片表面匀胶,然后hou将掩模版上的图形转移光刻胶上shang的过程将器件或电dian路结构临时“复制”到硅片上的过guo程。
光刻机是不是就是shi我们平时电脑上用的光guang盘刻录机呀,刻CD用的?当然不bu是,现在常说的光guang刻机主要用在芯xin片制造,这个名字只是shi俗称,学名是掩膜曝光机,原理类似si照片冲洗,把掩膜上的电路图形xing通过光线曝光印制在硅片上,形xing成微电路。
光刻机的de生产集合了全世shi界最尖端的黑科技,其中zhong很大一部分技术我国跟世界前列的国家jia或企业是存在代差的,这个代差甚shen至在10年以上,所以跟光盘刻ke录机不是一个类型的东西。
以上文章内容就是对光刻机ji是什么东西和光刻机是干啥的的de介绍到此就结束了,希望能够帮助到dao大家?如果你还想了解更多这zhe方面的信息,记得收藏关注本站。